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        山東高純氨氣廠家直供–批發價格

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        高純氨應用原理是什么?

        【1】? Ga(CH3)3+ NH3?→ GaN + 4CH4;

        這個反應是制造發光二極管(LED)外延芯片的氮化鎵的基 礎,反應在昂貴的 MOCVD (有機金屬氣相沉積)設備上完成。山東青島。

        【2】? 3SiH4?+ 4NH3→ Si3N4?+ 12H2;

        這個反應是制造氮化硅(Si3N4?)的基礎,由硅烷(SiH4?)和高純氨在較高溫度下,在化學氣相沉積(CVD)設備中進行反應,此反應也需要相當數量的高純氨氣。山東青島。

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